第三代半导体材料

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碳化硅粉

应用范围

碳化硅粉

应用范围：第三代半导体SiC单晶

性能特点

碳化硅粉

性能特点： 1、产品纯度≥99.9995%（不含N）； 2、粒度可根据用户定制，8~20目 / 20~40目；3、特定元素含量可根据客户要求定制，如B / Al含量

技术特性

掺氮碳化硅粉料-产品规范 N Doped SiC Powder

序号/No.	项目/Items	单位/Unit	规范/Spec
1	纯度Purity	/	≥99.9995%（不含N）
2	晶型Polytype	/	α-SiC＞95%
3	元素含量Element	ppm	B＜0.5
			Al＜0.5
			Ca＜0.5
			Ti＜0.5
			Cr＜0.5
			Mn＜0.5
			Co＜0.5
			Ni＜0.5
			Cu＜0.5
			Zn＜0.5
4	粒径Particlesize	mesh	8~20
			20~40
			(占比＞95%)
5	包装Package	/	真空包装vacuumed，5kg/bag

碳化硅粉

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